摘要：扫描光栅微镜的转动结构通常设计成扭振系统，通过扭转梁实现微镜转动时的结构抗扭。将扭转梁设计成折叠形式，可以减小扭转梁的抗扭刚度，但扭转振型仍有可能未成为系统的一阶主振型。因此，通过提高系统镜板的（试读）...
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