中图分类号：TH161.11 文献标识码：Adoi：10.37188/OPE.20263405.0769 CSTR：32169.14.OPE.20263405.0769

1引言

随着微纳米级超精密加工技术的快速发展，先进制造对微观尺度下几何参量的精确计量提出了更为苛刻的要求（试读）...