文章编号 1004-924X（2026）08-1232-13
摘要： 针对光刻机、精密装配及空间光学系统等领域中对光学元件位姿进行纳米级位移与微弧度级角度高精度测量的需求， 以及现有方法在实现多自由度同步、集成化测量方面的不足，（试读）...
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