关键词：光学加工；离子束加工；细束径；变去除函数；驻留时间；非线性补偿中图分类号：TN305.2文献标识码：Adoi：10.37188/OPE.20263403.0353 CSTR：32169.14.OPE.20263403.0353

Machining process and compensatio（试读）...